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本书主要介绍了洗净主体材料的基本性能，厂房净化技术及原理，高纯气体制备，超纯试剂的纯化等内容；还着重论述了现有常用洗净方法和技术，详述了一些典型洗净范例，尤其是电子行业的清洗。同时，也介绍了新型的清洗技术和方法。通过学习本书可以为掌握现有的洗净技术和原理，并进一步优化和创新新方法、新技术奠定良好的基础。

本书编写过程中参考了大量国内外洗净技术专业资料，着重基本概念的阐述，同时反映近年来洗净技术领域的新技术、新成果。可作为高等院校相关专业教材，也可作为教师、研究生的专业参考书，还可供企业及科研单位的专业技术人员参考。

部分　洗净主体材料的基本性能

　章　晶体材料与非晶体材料基本性能

　　节　晶体材料结构与性能

　　第二节　非晶体材料特性

　　第三节　有机固体材料基本性能

　　第四节　液晶材料结构与性能

　　第五节　固体材料的表面与界面

　第二章　金属材料基本性能

　　节　钢铁材料基本性能

　　第二节　铜及铜合金材料基本性能

　　第三节　其他合金材料基本性能

　第三章　半导体硅与化合物的基本性能

　　节　硅材料化学性能

　　第二节　硅材料物理性质

　　第三节　硅的化合物

　第四章　常用非金属材料

　　节　非金属材料特性

　　第二节　有机非金属材料分　类与特性

　　第三节　常用无机非金属材料

　　第四节　复合材料

　第五章　有机试剂基本性能

　　节　醇类的基本性能

　　第二节　苯酚、醛、羧酸基本特性

　　第三节　羧酸衍生物——羧酸酯基本特性

　　第四节　糖类及蛋白质

　第六章　常用无机试剂基本性能

　　节　常用酸的基本性能

　　第二节　常用碱的基本性能

　　第三节　清洗常用的氧化剂

　　第四节　金属离子螯合剂

第二部分　清洗的环境净化

　第七章　环境洁净技术原理

　　节　厂房的洁净技术基础

　　第二节　高纯气体制备机理

　　第三节　超净高纯试剂纯化机理

　第八章　洗净工程中净化水的制备机理

　　节　天然水中的杂质

　　第二节　超纯水

　　第三节　离子交换树脂

　　第四节　电渗析法制备纯水的原理

　　第五节　反渗透法制备纯水的原理

　　第六节　反渗透膜的技术现状

　　第七节　反渗透膜的污染与清洗

　　第八节　反渗透膜生物污染与防治

　第九章　在清洗技术中替代破坏臭氧层物质

　　节　概述

　　第二节　氯氟烷烃溶剂对臭氧层的破坏机理

　第十章　有机高分　子化合物的生物降解

　　节　有机高分　子结构与降解

　　第二节　有机高分　子材料降解理论

　　第三节　污染物可生物降解性

　　第四节　生物对污染的适应与进化

　　第五节　污染物生物降解的营养动力学

第三部分　清洗方法与技术

　第十一章　集成电路制备过程中的清洗

　　节　概述

　　第二节　清洗的基本理论及方法

　　第三节　颗粒吸附状态分　析及优先吸附模型

　　第四节　硅片清洗的常用方法与技术

　　第五节　清洗设备基本结构

　　第六节　溶液清洗技术的研究现状

　　第七节　兆声清洗

　第十二章　油污的去除方法

　　节　有机溶剂除油

　　第二节　化学除油

　　第三节　电化学除油

　　第四节　其他除油技术

　　第五节　清洗工程中浸蚀作用机理

　第十三章　工业清洗的一般方法

　　节　不锈钢和耐热钢的浸蚀

　　第二节　其他金属浸蚀

　　第三节　玻璃及其仪器的清洗

　　第四节　机械部件的清洗

　　第五节　印刷电子线路板的清洗

　　第六节　锅炉和管道等设备的清洗

　　第七节　大型运输工具的清洗

　　第八节　替代ODS清洗技术

　　第九节　洗净新兴技术

附录 通用水基金属净洗剂质量标准及试验方法

参考文献

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前言

前言

洗净科学与技术涉及物理、化学、化学物理、物理化学、机械工程、电子工程、生物工程、环境工程、材料科学等多学科的知识与理论，是一门知识密集与技术密集的新学科。

随着人类历史的发展，文明的进步，洗净技术也飞速发展。由人自身洁净清洗、家庭清洗到